微量水分測定儀也叫露點儀是為了要獲得高品質的產品或設備正常地運轉，微量水分測定儀能直測出露點溫度的儀器。露點可以簡單地了解為使氣體中水蒸汽含量到達飽和形態的溫度，是表示氣體濕度的方式之一。使一個鏡面處在樣品濕空氣中降溫，直到鏡面上隱現露滴（或冰晶）的瞬間，測出鏡面平均溫度，即為露（霜）點溫度。它測濕精度高，但需光潔度很高的鏡面，精度很高的溫控系統，以及靈敏度很高的露滴（冰晶）的光學探測系統。露點儀運用時必需使吸入樣本空氣的管道維持清潔，否則管道內的雜質將吸收或放出水分形成測量誤差。

微量水分測定儀冷鏡法電解法就是將干燥劑吸取的水分經電解池電解成氫氣和氧氣排出，電解電流的大小與水分含量成正比，經過檢測該電流即可測得樣氣的濕度。該辦法補救了分量法的缺點，測量量程可達-80℃以下，且精度較好，價錢便宜；缺點是電解池氣路需要在運用前干燥很長時間，且對氣體的侵蝕性及清潔性要求較高。

微量水分測定儀振動頻率法就是將重量法中的干燥劑換用一種吸濕性的石英晶體，依據該晶體吸取水分品質不同時振動頻率不同的特點，讓樣氣和標準干燥氣流經該晶體，因此發生不同的振動頻率差△f1和△f2，計算兩頻率之差即可獲得樣氣的濕度。該露點儀振動頻率法具備電解法一樣的優點，且運用前勿須干燥。

微量水分測定儀冷鏡法也是一種經典的測量辦法。讓樣氣流經露點冷鏡室的冷凝鏡，經過等壓抑冷，使得樣氣到達飽和結露形態（冷凝鏡上有液滴析出），測量冷凝鏡此時的溫度即是樣氣的露點。露點儀冷鏡法的主優點是精度高，尤其在采用半導體制冷和光電檢測技術后，不確定度甚至可達0.1℃；缺點是呼應速度較慢，尤其在露點-60℃以下，平均時間甚至達幾個小時，而且此辦法對樣氣的清潔性和侵蝕性要求也較高，否則會影響光電檢測效果或發生‘偽結露’形成測量誤差。

微量水分測定儀為了要獲得高品質的產品或設施正常地運轉，許多行業諸如石化、電力、電子、航空航天、冶金、紡織等對濕度測量的要求越來越高，因此，濕度測量已逐步成為一個新興的技術范圍。依據無關規程，濕度被定義為氣體中的水蒸氣含量，經用單位有：克/升，PPM，mmHg，露點及相dui濕度等。習慣上以露點-20℃為界把所測氣體分為高濕度氣體與低濕度氣體。